说明书

量程指仪表的满量程流量范围，请选择包含您的最大量程的选项。

• BC系列 (BASIS™): OEM质量流量计
  • 100 SCCM -20 SLPM
• BIO系列: Bio生物行业质量流量计 
  • 1 SCCM – 5 SCCM
  • 10 SCCM – 20 SLPM
  • 50 SLPM to 500 SLPM 
• CODA 流量计
  • 40 g/h – 300 kg/h
• FP-25: 手持式空气运维质量流量计
  • Up – 25 SLPM
• M/MB-Series:  标准/手持质量流量计
  • 0.5 SCCM – 5 SCCM
  • 10 SCCM – 20 SLPM
  • 50 SLPM – 5,000 SLPM
• MQ/MBQ系列: 耐压质量流量计
  • 10 SCCM – 20 SLPM
  • 50 SLPM – 3,000 SLPM
• MS/MBS 系列: 耐腐蚀质量流量计
  • 0.5 SCCM – 5,000 SLPM
• MW系列(Whisper™): 低压损质量流量计
  • 0.5 SCCM – 5 SCCM
  • 10 SCCM – 100 SLPM
  • 250 SLPM – 1,000 SLPM
• MWB系列(Whisper™): 手持式低压损质量流量计
  • 0.5 SCCM – 5 SCCM
  • 10 SCCM – 100 SLPM
  • 250 SLPM – 1,000 SLPM