器件定制范围为 0.5 SCCM 满量程 至20 SLPM 满量程，可控范围为满量程的 0.01% 至 100%。

• 有关从0.5 SCCM 满量程到5 SCCM 满量程的设备规格，请参阅 MCE 系列低流量设备规格。
• 有关从10 SCCM 满量程到20 SLPM 满量程的设备规格，请参阅MCE 系列中流量设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读质量流量控制器操作手册。

每台设备均附带

• 多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 用户可更改测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
• 气体选择性： 从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。
• Gas Select Composer™： 使用我们的Gas Select Composer ™固件定义最多 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物 。
• 带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏轻松读取测量值，并通过用户友好的集成触摸板控制配置。
• 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。
• 用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件： 快速 更改参考条件， 无需重新校准。
• 阀门关闭超控和阀门打开超控：利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。

购买时要求 | 自由的

• 可选的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次质量流量，以便精确跟踪一段时间内的总流量，并使用批量控制来分配精确的体积。

购买时要求 | 附加费用

• 可选的集成电位计控制：使用集成电位计，只需旋转旋钮即可调整设定值。

构建和性能选项

• 通信协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET
• 显示屏：单色或彩色背光；集成或面板安装
• 过程连接：压缩、VCR 或 VCO 接头
• 接液材质：  302、303、304、316L、430FR不锈钢；FKM、氧化铝陶瓷、黄铜、玻璃、金、热固化环氧树脂、热固化硅橡胶、聚酰胺、硅
• 校准：高精度；自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

• MCE：内置小型比例控制阀

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥最大性能。

配件 | 分开售卖

• 过程端口配件和过滤器
• 电源
• 通讯电缆及转换电缆
• BB3 和 BB9 多点接线盒