定制和动态编程内部气体混合

预混合气体通常是从压缩气体供应商处购买的，但是购买纯气体并自行混合有显着的好处。

• 现场气体混合。避免昂贵的预混合气体混合物，减少气体浪费并保持可追溯性。
• 动态混合。 控制98 多种气体和20 种自定义气体混合物的流量，并自动调整不断变化的工艺条件，确保混合一致。
• 10,000:1 宽广的可控范围。配置为 1 SLPM 空气满量程的控制器将保持在 1 SLPM 满量程，无论是流动 H ₂还是 SF ₆。