优化薄膜沉积装置,以达到最大吞吐量和薄膜质量

生产均匀涂料需要快速、精确的气体输送到真空涂层系统中.这在从人造金刚石生产到光电涂料的薄膜应用中至关重要。

Alicat有一系列定制解决方案,专门设计以升级现有的真空设置。

• 没有热身时间。  在打开流量装置后,沉积循环可以立即开始。
• 毫秒反应时间。 流量和压力控制器立即响应工艺条件的变化,最大化均匀性和最小化浪费。
• 多气体兼容性。  一个单一的装置可以以高精度的方式流动沉积过程中所需的任何气体。