测量质量流量时控制闭环压力？

“闭环压力控制”就是指在你的压力输出点加一个检测装置，将压力数值与设定值进行比较，比较的结果传输给控制装置，高降低补，保持压力恒定。

而质量流量控制器(MFC)除了可以测量和控制质量流量，并可以通过调节阀门以增加或减少质量流量的方式而达到调节压力的设定值。

在控制压力时，阀门会根据压力测量值进行调整。假设，您控制 Alicat 下游的压力并希望达到 100 PSIA，如果此时压力为 80 PSIA，MFC 将会自动打开阀门，直到压力达到您的设定值。MFC可以同时控制压力和测量流速的应用中，这是非常有用的。有些应用场景包括泄漏测试、流量检查和质量检查，您必须保持特定的流量与压力曲线。

Alicat 应用工程师 Alyssa Jenkins 讨论了闭环压力控制的特点

使用 MFC 控制压力的过程

密闭容器过程控制

我们的双向质量流量控制器具有三个端口（入口、过程、出口）和两个阀门（进口流量和排气）。该装置可用于控制一个密闭容器的压力体积，一个阀门调节以增加/减少流量，另一个阀门可在压力超过设定值时向大气或真空泵排气。在控制压力的同时，可以使用流量累加器来跟踪流体流动的总量，因此您还可以测量进入容器的每种气体的质量流量。

校准转子流量计

转子流量计测量体积流量，它们被调节在一个非常特定的压力，以给出质量流量。虽然它们可能以标准升每分钟 (SLPM) 或标准立方厘米每分钟 (SCCM) 进行标记，但该质量流量读数仅在转子流量计调整好的压力下有效。另一方面，Alicat 有一个压力传感器，可在压力变化时调整读数。

Alicat 质量流量装置可用于控制转子流量计下游的压力，同时直接在质量流量计和转子流量计上测量流量。为此，必须调整 Alicat 的 STP 条件和气体选择以匹配转子流量计。然后可以将 Alicat 上的背压控制点设置为等于转子流量计的出口压力。这创造了一个条件，其中 Alicat 控制转子流量计的压力，将 Alicat 标准化为可变面积流量计，然后您可以引入流量来校准转子流量计。