MDC Precision 使用 XpressStick 气体输送模块的质量流量控制
XpressStick™ MFC Gas Stick MDC Precision设计了一种一体化解决方案，消除了特种气体、压力、精确调节和真空工艺组合中的复杂硬件规格。其简单的编程和精确的气体控制系统使用户能够通过一个简单的步骤从瓶子到过程。XpressStick 专为满足超高纯度工艺要求而设计，还提供适用于腐蚀环境的不锈钢型号。
带真空质量流量控制器的 XpressStick™ MFC 气棒
快速响应时间、准确性和可靠性都是为我们的 XpressStick 选择 MFC 仪器的关键标准。根据过去与 Alicat 合作的经验，我们知道他们可以提供这三项功能，并配备集成显示屏，支持我们的一体化设计。– MDC 工程与技术副总裁 James Moore
MDC 将 Alicat真空质量流量控制器集成到其 XpressStick™ 中。质量流量仪表可精确控制高达 20 SLPM 的气体流量，并具有实时质量流量、体积流量、绝对压力和温度测量。它还为气体连接模块提供气体编程功能，该模块将加压气体输入连接到真空室。集成显示屏允许直接从设备对气体模块进行编程，并且气体类型可以在 98 种板载气体校准之间轻松切换。
该设备对设定点变化的控制响应时间为 30 毫秒，改进了 MDC 的真空镀膜最终产品，并有助于消除目标中毒。此外，无需预热时间意味着 XpressStick 只需一秒钟即可控制工艺流程。