M系列气体质量流量计
M系列气体质量流量计 可同时测量98种以上气体的质量流量、体积流量、气体压力和气体温度,量程比0.01%到100%。
规格、特性和自定义选项
标准规格
- 量程范围:0.5 SCCM至5,000 SLPM (氢气10,000 SLPM)
- 测量范围:0.01% – 100%
- 精度:读数的±0.6%或满量程的±0.1%，以较高者为准
- 可选高精度:读数±0.5%或满量程±0.1%，以较大者为准
- 重复性:读数的0.1%和满量程的0.02%
- 响应时间:< 10ms
- 工作温度:-10℃~ +60℃
- 工作压力:160 PSIA (11 barA)
规格表
特点及附件
- 同时测量体积流量，质量流量，气体压力，气体温度。
- 现场可调的工程单位和STP/NTP条件。
- 可从98+预加载NIST可溯源气体校准选择过程气体。
- 定义和存储多达5种成分气体的20种定制气体混合物。
- 通过集成触摸板从背光显示和控制配置中读取测量值。
- 可选集成流量累加器和报警器。
探索设备特性
配件
电源，电缆和配件单独出售
构成和性能选项
- 通信: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
- 过程连接 :NPT, SAE, AN, BSPP/G，compression，VCR, VCO
- 显示屏 : 单色或彩色背光;集成或面板;无
- 密封圈: F-KM、F-KM、EPDM、硅树脂
- 校准: 标准或高精度;定制校准点
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