MCV系列性能(大多数产品)

• 量程: 0.5-20SLPM
• 量程比: 0.01% – 100% of full scale
• NIST可溯源精度: 0.6% 读数或+0.1% F.S. ,以两者中较大者为准
• 可选的高精度: 0.5% 读数 或0.1% F.S. ,以较大者为准
• 重复性: ±(0.1% of reading + 0.02% of full scale)
• 响应时间: 快至30毫秒
• 泄漏率: 1 x 10 ^-9 /秒
• 预热时间: <1s

MCE/MCV系列操作条件

• 兼容气体: 98+内置气体
• 工作温度: –10°C to +60°C
• 工作压力: 160 PSIA
• 差压:  75 PSID
• 压力: 175 PSIA
• 用户选择参考条件(默认值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)

可定制  0.5 SCCM  到 20 SLPM 可控制的范围 0.01%至100% .

• 适用于从 0.5 SCCM   到 5 SCCM ,请参阅  McV系列低流量装置规格 .
• 适用于从 10 SCCM 到 20SLPM  ,请参阅 MV系列中流装置规格 .

综合设备指南,请阅读 质量流量控制器操作手册 .

包括每个装置

• 多参数 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 可使用的测量单位: 改变压力、流量或温度的测量单位 工程单位名单 .
• 气体选择: 98+种内置气体，可现场自由切换而无需返厂校准。  气体清单 .
• Composer™: 定义20种自定义气体混合物,最多可使用5种成分气体 Composer ™ 进行气体混合。
• 背光显示屏:  使用 背光显示屏 和控制配置与集成触摸板。
• 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制：配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程，设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。
• 可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改STP条件 不需要再校准。
• 阀门开合: 利用警报快速释放您的系统或停止所有流动所需。

标配功能(免费)

• 标配流量累加器和批处理控制: 流量累加器 质量流每1M精确跟踪总流量随时间和使用批处理控制分配精确的体积。

购买时提出的要求|额外收费

• 可选集成电位器控制: 使用 集成电位计 用简单的旋钮转动调整SET点。

构建和性能选项

• 通讯协议：Analog、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS, PROFINET
• 显示器：背光单色或彩色； 集成或面板安装
• 过程连接：压缩、VCR 或 VCO 接头
• 接液材质：不锈钢;FKM、氧化铝陶瓷、黄铜、玻璃、黄金、热固化环氧树脂、热固化硅橡胶、聚酰胺、硅
• 校准：高精度； 自定义校准点

阀门选项和PID调整

您的质量流控制器可以根据下列阀门选项之一进行定制,以确保在预期的流程条件下的更佳性能。

• MV: 小型比例控制阀内部安装,加上位于下游的外部安装气动关闭阀

定制的PID阀门为您的工艺条件确保了卓越的性能.

配件|分开销售

• 加工端口配件和过滤器
• 电源
• 通信电缆和转换电缆
• BB3和BB9多点集线盒