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MCQ 系列性能（大多数产品）

• 量程范围： 10 SCCM 至 5000 SLPM
• 控制范围：满量程的0.5% – 100%
• 标准精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
• 重复性：满量程的±0.1%
• 响应时间：低至 100 ms
• 预热时间：<1秒

MCQ 系列操作条件

• 兼容气体： 98 种内置气体；可使用COMPOSER™定义其他混合物
• 工作温度：  –10°C 至 +60°C
• 工作压力：  320 PSIA
• 压差：  <75 PSID
• 耐压：  <400 PSIA
• STP参考条件（默认）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat 提供定制流量范围从 10 SCCM  到 3000 SLPM 耐高压质量流量控制器，控制范围为 0.5% 到 100% 。定制设备的范围可以满足您对流量和操作范围的特定应用需求。

定制范围为10 SCCM 至3,000 SLPM  ，可控范围为满量程的 0.5% 至 100%。

• 有关从 10 SCCM 到 20 SLPM 的设备规格，请参阅 MCQ 系列中流量设备规格。
• 有关从 50 SLPM 到 3,000 SLPM 的设备规格，请参阅MCQ 系列高流量设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读质量流量控制器操作手册。

每台设备均附带

• 多参数测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。
• 测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。
• 气体选择： 从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。
• Gas Select Composer™： 使用我们的Gas Select Composer ™固件定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物 。
• 带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏轻松读取测量值，并通过用户友好的集成触摸板控制配置。
• 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。
•  STP条件： 快速 更改参考条件， 无需重新校准。
• 阀门开合：利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。

购买时要求| 免费

• 可选的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次质量流量，以便精确跟踪一段时间内的总流量，并使用批量控制来分配精确的体积。

购买时要求| 另外付费

• 可选的集成电位计控制：使用集成电位计，只需旋转旋钮即可调整设定点。

构建和性能选项

• 通信协议：Analog、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET
• 显示屏：背光单色屏或TFT彩屏，一体化集成或面板单独安装
• 过程连接： NPT、SAE、AN、BSPP/G、卡套接头、VCR 或 VCO 接头
• 密封圈：  Viton、FFKM、EPDM、硅胶
• 校准：自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

• MCQ：小型比例控制阀，用于20 SLPM以下流量
• 带PCA阀门设计的MCQ：高性能比例控制阀，常应用于更高压力的工况
• MCH： 锤头结构，将两个并排工作的小阀门配对为一个阀门
• MCR：几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm以上流量

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥卓越性能。

配件 | 分开售卖

• 过程端口配件和过滤器
• 电源
• 通讯电缆及转换电缆
• BB3 和 BB9 多点集线盒