Category: Products and Services

  • 三个理由,告诉你为什么Alicat的流量流量控制器响应这么迅速

    建造响应迅速的质量流量计/控制器和压力设备是我们的骄傲,也是客户选择Alicat仪器的独特因素。问题是,“迅速的”是什么?我最近开始在Alicat Scientific工作,我发现了这三件事,这三件事让Alicat的流量控制器如此迅速。 1 快速传感器响应时间 与其他流设备制造商相比,Alicat设备具有超短的响应时间。采样频率意味着传感器在一秒钟内读取近1000个读数。通过一个PID回路来调节响应速度,然后阀门控制流量到设定值。阀门的控制响应时间为50-100毫秒——通过PID调节可调。如果我们将化学动力学类比应用于这个系统,速率决定步骤(RDS)或速率限制步骤将是阀门根据设定值和流量读数之间的差异调整其位置。传感器本身非常快,每一毫秒就能检测到压力的变化。热传感器依赖于热量信息的吸收和传递,需要更长的时间来检测流动变化——这是物理学。这就是为什么我们的层流压差质量流设备比热流设备更快的一个原因。 2 我!(也称为)快速技术支持 我们没有单独的电话扩展技术支持和新的应用程序。你不必等电话转到正确的部门,每个人都可以马上接电话。 当您打电话给我们指定产品或解决您的流程问题时,我们的一位应用程序工程师(像我一样)将帮助您解决技术查询、故障排除或应用程序问题。事实上,我们出货的每一件仪器都以某种方式为客户的应用量身定制,我们的应用工程师会帮助你做到这一点。 当您向我们发送电子邮件时(无论是新订单、服务请求还是一般询问),我们都尽量在一小时内回复——我们甚至还开设了国际服务办公室,并提前到达,以覆盖更多的时区。 有了Alicat,你可以期待呼之即来的客户服务。 3 方便的功能,使您更快 Alicat设备有一个内置的气体选择功能,不同于其他所有设备。许多其他品牌也提供气体更换仪器的服务,但也有一些大的缺点:你的精度会降低,你可能需要计算和编程的k因素到你的过程中。对于无法接受降低精度的客户,实际结果是在工厂重新校准仪器时延迟数周,或在备件更换仪器时停机时间。 Alicat设备可以在不丢失校准精度的情况下改变气体,而且它们的速度非常快,只需轻触一个按钮。质量流量控制器的标准系列有98种不同的气体校准,不锈钢MS/MCS系列设备有131种校准,包括腐蚀性气体。使用Alicat设备可以使您在不延迟重新配置的情况下,立即重新使用不同气体的仪器。 当然,在其他方面,Alicat是快速的。你最喜欢什么? 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • Alicat将工业自动化协议添加到真空流量控制仪表中

    以太网/IP和DeviceNet选项将质量流仪表集成到涂层和溅射过程控制中 Alicat Scientific在其真空镀膜应用的质量流控制器生产线上扩展了通信协议,增加了以太网/IP和DeviceNet。Alicat的mce系列和mcv系列质量流量控制器确保了真空室中更佳的涂层环境,保持了产品在真空沉积中的完整性。 Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。 Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。 新的工业自动化协议使实时数据——包括质量流量、容积流量、绝对压力和温度,以及全温度和压力补偿——由PLC集中读取,用于管理MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器。用户可以通过设备网或启用以太网/IP的PLC或计算机来更改设定值或气体选择,并向Alicat仪器发出其他命令。 Alicat MCV和MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量,低至0-0.5 sccm全量程,高至0-20 slpm全量程,控制响应时间可达20 – 50毫秒。快速反应时间可以大大提高真空镀膜成品的质量,有助于消除目标物中毒。集成的气动关闭阀通常是关闭的,提供1 x 10^9 atm-sccm/sec氦气max的正关闭。 除了新的以太网/IP和DeviceNet协议之外,Alicat还提供了Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。mce -系列和mcv -系列可能被用来取代传统的和中断的MKS仪器。这两个系列的控制器与一般的工业质量流量控制器具有相同的适用空间,易于集成到现有系统中。所有Alicat仪器都有NIST-traceable校准,全面的技术支持和终身保修。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • Flow Vision SC远程控制Alicat流量和压力设备

    Flow Vision™ SC Flow Vision SC 是Alicat的Windows®桌面应用程序,用于控制和记录流量和压力控制设备的数据。Flow Vision SC内置在Alicat主要产品线中,独立于COMPOSER™和Gas Select™固件。 Flow Vision SC的图形用户界面(GUI)允许轮询或显示Alicat的测量值这样简单的操作,就像运行复杂的脚本一样,包括改变Alicat设备的设置点和数据记录。您可以保存这些脚本,绘制图标,并记录数据,供以后查看。 Flow Vision SC能够: 远程设置点和控制循环命令 PID控制回路调节 自动配置-自动检测仪器的类型和电流参数 会话保存,便于配置和实验设置重新加载 捕获数据并将其记录到常见的文件格式中 查看仪器状态和随时间变化的绘图工具 自动化仪表和控制命令序列的简单高级脚本构建 软件警报 用于直接命令、轮询和数据帧馈送的串行终端接口 连接多达26个设备-气体和液体流量控制器和压力控制器 启动运行 将您的Alicat设备连接到PC上,并通过Flow Vision SC与之通信: 将串行电缆连接到设备上的RS-232端口。RS-232是安装在Alicat设备上的默认串行连接器。还可以订购RS-485连接。 使用Alicat串行电缆,通过USB端口将串行电缆的另一端直接连接到计算机 使用此视频可以帮助您识别计算机上的COM端口; 你可以在这里得到串行通信电缆的驱动程序; 没有足够的可用COM端口?使用BB9断接。 启动Flow Vision SC软件 通过“设备”选项卡将仪器加载到软件中—为每个设备选择一个名称并选择适当的COM端口—然后您就可以开始与设备通信了。 添加多个Alicat设备 您的PC可能没有足够的物理端口来连接进程中所有的Alicat设备。在这种情况下,一个BB9多点分线盒将9个设备连接到一个COM端口。通过链接BB9盒,您可以在Flow Vision SC的单个副本上与多达26个设备通信。 更多远程通信选项 如果Flow Vision SC软件不适合您的远程通信需求,请考虑: Alicat设备可以使用PLC通信协议(以太网/IP、DeviceNet、Modbus或PROFIBUS)和选择连接器协议订购。 模拟输入和输出:几乎所有的Alicat设备(流量计、流量控制器和压力控制器)都有内置的模拟和数字通信模式,因此您可以在需要时选择使用哪一种。 车载显示和输入按钮:Alicat质量流量控制器、质量流量计和压力控制器的主要线路都带有车载LCD显示器和用于导航菜单的输入按钮。在没有远程通信的情况下,这是一种使设备快速启动和运行的方便方法。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • 为恶劣的环境条件建立流量标准

    环境空气监测技术人员如何帮助制造FP-25 呼吸一下清新、寒冷的空气。感受雪花吹在脸上的感觉。这样的天气会使大多数流量标准远远超出其精度限制。但FP-25大气采样流量校准仪却不是这样。这是专门为这些条件,感谢技术人员就像你。 这是一个关于环境空气监测技术人员如何帮助制定FP-25大气采样流量校准仪的故事。Alicat新的室外空气采样器防风雨流量标准。这个工具是一个以持续的用户反馈为中心的迭代过程的产物。我们只是建造了空气监测技术人员告诉我们他们想要的,再加上一点点 故事从空气监测技术人员开始,他们已经在他们的避难所内使用了Alicat的便携式质量流量计。这些技术人员对他们的气体稀释校验仪内的质量流量控制器冗长的20点校准过程感到沮丧。用Alicats替换它们的容积式流量计可以将它们在每个点的流量校准时间缩短到几秒钟,即使是在5厘米的时候。 在Alicat发布了MW系列低压损气体质量流量计后,一些技术人员开始将这项新技术应用于他们的室外环境空气采样器的校准。对于一个高精度的、基于实验室的流量标准来说,室外流量测量并非易事。所以,我们必须研究如何在这些技术人员所面临的恶劣环境条件下保持实验室级别的准确性。 还原温度平衡时间 使用我们实验室的MW系列低压损气体质量流量计的技术人员告诉我们,他们花了很长时间才把室内温度与室外环境温度平衡下来,尤其是在阳光灿烂的日子里。带有嵌入式温度传感器的大块不锈钢在实验室里工作得很好,但在室外就不行了。我们把钢换成了铝,并减小了块的尺寸,但我们仍然要应对辐射热的问题。 降低平衡时间的解决方案是从降低温度传感器到流动路径的更深处开始的。这使得它在测量精确的空气温度时更加精确,即使由于太阳的辐射加热而人为地升高了温度。然后,我们增加了一个快速响应外部温度探头,FP-25大气采样流量校准仪使用它来校正内部流场的温度,使之符合环境条件。总之,这个设置意味着你可以更快地开始使用你的流量标准,并在炎热的日子里在阳光直射下继续使用它。即使从加热的汽车里出来,进入零下的环境温度,只要几分钟就能达到平衡。 保持流量精度低于零 空气监测全年进行,因此美国北部和加拿大的技术人员在最低零下30°C的温度下进行室外流量校准。这些零度以下的环境对电子仪器造成了严重的破坏,降低了电池寿命,模糊了LCD屏幕,使o形环变得脆弱。当温度低于冰点时,容积式流量计的活塞会冻结,无法使用。在文丘里的情况下,他们的压力传感器的响应变得更慢,这使得他们的响应更难以预测,因此他们变得更不准确。 将精度保持在零以下是一个棘手的问题。电子压力传感器往往会在零度以下发生变化,从而导致对传感器物理变形的电响应发生变化。Alicat的工程师们想出了一个创造性的方法来解决这个众所周知的问题。我们将每个FP-25大气采样流量校准仪的压力传感器置于从-30°C到+60°C的整个操作温度范围内,监测它们在整个过程中的多个点的响应。所得到的响应曲线对每个仪器都是独特的,并成为其最终流量和压力校准的一部分。由于这种先进的工艺,我们的FP-25在Alicat仪器上有最精确的流量校准。在其广泛的工作范围内的任何温度下,您的FP-25的精确度将超过读数的1%。 对抗风沙……和雪花 一些空气监测技术人员报告说,在流量校准过程中,风可能是一个重大问题。他们注意到,即使是一片雪花也会导致他们的喉管窒息。由于体积流量标准通常具有最小的压降,因此不会影响体积流量读数,因此它们对风也非常敏感。事实上,当我写这篇文章时,我桌子上的阿丽卡特耳语流量计显示了我办公室空调启动时气流的存在。虽然这种灵敏度使仪器更准确,它也可以使流量测量更加困难,当风吹。刮风的日子也会使灰尘或雪花通过你的气流标准。 为了解决这个问题,我们从空气采样器的制造商那里得到了启示,他们很久以前就找到了解决风和灰尘的办法。空气采样器的进气口装有滤网,可以过滤掉大量的灰尘颗粒,其百叶设计可以防止大风影响下管内的流量。Alicat FP-25大气采样流量校准仪充分利用了采样器入口的这些特点,当它与空气采样器的下管一起安装时,我们称之为直接模式。在这种配置中,FP-25大气采样流量校准仪被放置在PM10入口的正下方,但如果使用的话,则位于PM2.5非常锋利的切割气旋(VSCC)的上方。这为流量传感器提供了充分的保护,使其免受风、灰尘、雨和雪花的影响,并使FP-25大气采样流量校准仪能够监测与采样器正常工作时相同的流量情况。 你的冬末预报可能会有大雪或大风,晴朗的天气。如果你是一名空气监测技术人员,FP-25大气采样流量校准仪在这两种情况下都适用。如果你在另一个行业中,在不利的环境条件下测量流量,请告诉我们。我们很乐意帮忙。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • 质量流量控制器测量技术综述

    所有的质量流量控制器都是为了达到同样的目的,但是有许多测量技术。控制气流的流量需要两个系统——一个控制阀和一个流量测量元件。以下是四种主要类型的流元技术用于当今的质量流量控制器: 热旁路 热弥散是流量测量技术的第X代;20世纪60年代和70年代见证了第一个热弥散质量流量测量技术,并从此成为半导体行业的主要技术。通过测量一个加热元件和一个安装在旁路管道上的与气体流向平行的温度传感器之间的热量传递,可以测量管道内气体的质量流量。 热旁路流量测量技术在半导体行业的广泛应用是几个非常理想的特性的结果;由316L不锈钢、可选择的弹性体、甚至金属到金属的密封组成的湿润部件为半导体工艺中使用的高腐蚀性化学物质提供了必要的抵抗力。热旁路流量计还能够测量大范围的流速和压力,从每分钟0.01毫升到每分钟数千升的不同体积的流体。高达700bar的压力是可能的,但这些设备通常使用在20bar左右。 然而,这一人类创新的惊人壮举并非没有缺点!这些流量仪表需要在最终使用时根据实际气体种类进行校准,因为这些气体可能有潜在的危险和/或昂贵。否则,它们需要通过一个校正因子来改变它们的流量值。校正因子会给测量带来一定程度的不确定性,降低测量精度。另一个缺点是,最常见的拒绝率是50:1。虽然这比之前技术的8:1或20:1要好,但与我们的200:1相比,这个比例严重限制了这些设备的可用范围。热旁路流量计不方便的要求之一是其达到热平衡的漫长预热时间:30分钟是不寻常的(运行气体30分钟!)当严格控制流非常重要时,用户可能会发现500到1500毫秒的控制时间是不够的。 通流恒温风速仪 通流恒温风速仪是热旁路技术的近亲;代替旁路,加热器和温度传感器探头直接插入到流动的气流中,以测量通过流动气体的热弥散。之间保持一个常数ΔT加热器和传感器,和权力的差异需要保持ΔT在不同流速与质量流量。 这种控制器可以用与热旁路装置相同的防腐材料制成,但也有许多相同的弱点。在通流风速仪的缺点是:50:1的下降,2000毫秒的沉淀时间,30分钟的预热时间,1.5-2%的更佳准确度,以及比热旁路设备更低的最大压力额定值:30巴的不锈钢仪器。 MEMS和CMOS“芯片流” 这些技术是一种用于微型芯片的热质量流量测量的应用。MEMS和CMOS芯片平均在芯片上测量的温度变化。热负荷是由恒功率加热器产生的。由于测量元件的尺寸,芯片流量装置可以很小,而且消耗很小的功率。与通过流恒温和热旁路技术相比,这些微小的设备在与一个良好调谐的控制包配对时可以有非凡的响应时间,即使是在50毫秒内。 Alicat  BASIS系列OEM气体质量流量控制器采用这种技术,在一个小型的、可负担得起的包中给你快速、准确的质量流量控制。在实际气体校准中,你比其他热设备更准确,1.5%的读数为0.5%,有100毫秒的响应时间。Alicat  BASIS系列OEM气体质量流量控制器降低了200:1的比率,100个sccm模型,它是100:1。而且,在一定程度上,由于传感器的微观尺寸,预热时间到完全精度小于1秒。 层流压差 层流压差技术使用不同的物理参数来满足工业和分析领域的需要。压力传感器安装在膜片上,膜片对变化非常敏感,使其成为快速高效的传感器。通过分层流动,泊肃叶方程可用于从压差、粘度、温度和压力来确定质量流量。 差压传感器不需要热传感器那样的预热,对流量变化的响应快至10毫秒是合理的。与控制阀配套使用,控制沉淀时间也可以同样快,一般在50毫秒到100毫秒之间,一些应用程序可以达到20-50ms。LFDP机组的标准关低是200:1,允许比热机组低很多的可控范围;标准立方厘米的千分之一在流量范围最小的仪器上是可读的。在频谱的另一端,我们还提供了最高的全比例率提供的内联流量控制器- 5000 SLPM之一。高精度为读数的0.4% +全量表的0.2%。 Alicat的层流式气体质量流量计和气体质量流量控制器利用这些优势来建立一个可靠的流量控制器,以满足您的项目所需的精度和速度。 有关如何优化流程的流和仪表的指南,请参阅我们的指南。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • 空气污染分析仪校准器选用的Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器

    对渗透装置的操作至关重要的精度、速度和尺寸 亚利桑那州图森市Valco仪器公司选择了Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器,在动态渗透装置中精确控制气体流量。Alicat  BASIS系列OEM气体质量流量控制器创建气体混合物,在一个紧凑的空间内,每分钟产生的气体混合物可以达到几毫微克,便于集成。 BASIS系列OEM气体质量流量控制器是专为原始设备制造和工艺集成设计的,是Alicat最小的设备。它控制用于混合或稀释的气体流量,或供应到工业过程中——如气体分析仪、定制混合阀组和燃烧器。BASIS系列OEM气体质量流量控制器在气相色谱、气相混合、薄膜涂层溅射、燃烧器应用等方面均获得客户认可。 Valco仪器公司将多个BASIS系列OEM气体质量流量控制器整合到Dynacal®渗透装置中,Dynacal®渗透装置是Metronics公司用于校准空气污染分析仪的一个整体组件,动态精确校准所需的气体浓度。BASIS系列OEM气体质量流量控制器处理动态的质量流量,以产生精确测量的混合微量气体,具有很高的精度。 BASIS系列OEM气体质量流量控制器的几个功能有助于满足Valco仪器公司的要求。在非常低的流量下(例如1个sccm),仍然保持准确性,价格比其他质量流量控制器更合算。它的高转化率(高达200:1)意味着需要更少的设备来控制大范围流量。更少的设备和紧凑的构造节省空间和成本,而且不牺牲性能。BASIS系列OEM气体质量流量控制器,其工业接口有助于快速集成到气体流动系统,还具有100ms的快速控制响应时间。这在其他同样构造尺寸和易用程度的大多数流量控制器上是无法实现的。 BASIS系列OEM气体质量流量控制器有三个流量范围:1-100 sccm、5-1000 sccm和0.1-20 slpm。它们可以配置为六种可选气体——空气、Ar、CO2、N2、O2和N2O—或者和He或H2。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • Alicat增加了背光单色显示质量流量控制器和压力控制器

    改善可读性在任何照明条件下与低功耗 Alicat Scientific的核心产品范围包括质量流量计、质量流量控制器和压力控制器,它在单色液晶显示屏上增加了背光作为标准功能。背光照明照明Alicat的全信息,菜单驱动,多参数液晶显示屏,便于阅读,无论照明条件。 Alicat背光单色显示器 背光现在是单色液晶显示器的标准特性。 虽然可靠和可靠,低功耗的需求,单色液晶显示屏晶体缺乏强烈的对比,这意味着这些屏幕是最好的阅读在良好的情况下。有了新的发光显示屏,用户只需按下按钮,就可以开关背光,以便在黑暗环境中阅读和编程。 这项新功能现在已经成为大多数Alicat仪器的标准配置。发光薄膜晶体管多色显示和无显示器的仪器选项仍然可用,以适应客户的喜好。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • 好的质量流量控制器不需要手电筒

    顿悟,顿悟:突然的领悟、启迪或灵感的时刻。 -牛津英语词典 Alicat一直致力于为客户改进我们的产品。我们的质量流量计和质量流量控制器的一个早期的区别是那些全信息的,菜单驱动的,多参数的LCD显示在我们的设备上。一项新的发展是在我们的单色显示器上的照明背光。在Alicat的标志下有一个新的开/关按钮,你可以通过指尖来选择开关。背光增强屏幕的可读性,为任何照明条件。我猜你会说我们真的有了一个灵光一现的时刻。 自从数字时代开始以来,传统的单色显示器已经变得司空见惯。使用单色液晶显示屏的优点是它几乎不需要什么动力就能运行,这也是它广受欢迎的一个持久的原因。尽管非常可靠,但这种简单的黑色和灰色单色晶体有一个明显的缺点:它缺乏强烈的对比度,这意味着屏幕在光线充足的情况下阅读效果最好,在较暗的环境下可能不太理想。 为了弥补对比度问题,Alicat提供了一个薄膜晶体管多色显示选项。它可以添加到大多数Alicat产品中,并在那些难以阅读的情况下提供可见性。此外,在Alicat屏幕上,TFT对不同的参数、警告等显示出活力四射、引人注目的颜色。然而,它是一个更复杂和更昂贵的显示器,比单色显示器吸引更多的能量。增加的功率吸引意味着TFT不是移动设备的更佳选择,因为移动设备只依靠电池供电,但到目前为止,它是多变量Alicat显示器的唯一照明选择。如果你是Alicat的长期客户,你可能想知道新的液晶显示器将对新的购买有什么影响。我们的一些产品,比如MWB系列便携式低压损气体质量流量计,目前不会升级到背光显示屏。下载我们在背光液晶显示屏上的常见问题表,这样你就可以看到什么改变了,什么受到了影响。 这是一个小事情,但新的背光功能意味着你得到高度可见的对比度,无论你的屏幕是单色还是彩色。现在,无论你是在黑暗的房间里还是在光天化日之下,你都可以阅读显示器。 光在你的手中。你今天会有灵光一现的时刻吗? 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • 改进的过程气体控制优化反应溅射

    流量控制器中定制的阀门响应算法产生更好的薄膜,可以更好地控制目标的过渡状态。 反应溅射 反应溅射是一种物理气相沉积工艺,用于真空镀膜。该工艺通过将反应气体(如O2或N2)引入惰性气体(如氩气)产生的等离子体中,在基板上沉积复合材料涂层。活性气体被等离子体激活,然后与“目标”(通常由金属、合金或陶瓷组成)发生化学反应,生成沉积在基材上的涂层材料。所得到的氧化物、氮化物或碳化物涂层赋予涂层低发射率、耐久性等特点。 反应溅射沉积是制造和研发常用的方法,例如: 电视和手机的平板显示器 太阳能电池上的光伏涂层 太阳镜上的光学涂层 五金和汽车零部件的装饰涂料 建筑玻璃隔热涂料 Alicat气体质量流量控制器与常见的活性气体兼容。这些气体以及一些典型的化合物: 氧(O2) -生成诸如Al2O3、SiO2、TiO2、ITO(铟锡氧化物)等氧化物 氮(N2)产生氮化物,如锡,ZrN, CrN 乙炔(C2H2)或甲烷(CH4) -用于类金刚石薄膜 控制溅射过程 通过控制反应气体流量和时间,可以在一定程度上调整沉积速率和薄膜性能。使用流量控制不需要主动反馈,但与闭环控制相比,沉积速率较低,薄膜性能可能会较低。 与流量控制相比,分压闭环控制提供了更高的沉积速率,改善了薄膜性能。但是闭环控制需要主动反馈控制,增加了工艺的复杂性和成本。同样重要的是,闭环控制系统对反馈做出快速而准确的响应,以确保良好的涂层。由于反应是电化学的,可能在目标暴露于气体或基板暴露于等离子体云的毫秒内发生,因此控制要求非常严格。 闭环控制系统通过反馈信号实时测量工艺条件。常用的反馈信号包括: 目标电压 等离子体的光学发射,通常称为等离子体发射监测或PEM 反应气体的分压,用残余气体分析仪或RGA测量 避免目标中毒 决定沉积质量的另一个重要变量是溅射过程中目标的状态。增加的活性气体流量,加速了化学反应,但也会引起“目标中毒”。当目标中毒发生时,沉积速率降低,真空和电压水平的不良变化,都会对目标和基质造成损害。闭环控制系统可以维持目标的“过渡”状态,避免中毒。 闭环控制也比流量控制涂层更灵活,允许多气体和多区域的过程控制。Alicat 质量流量控制器为涂层专家提供现场可调的PID,以达到任何质量流量控制器极快的响应速度,改善工艺稳定性和涂层室条件。PID和PDF+算法通过改变响应控制命令的速率和方式来优化控制。有多种PID算法,允许用户对任何过程控制信号产生优秀的流量控制响应。 Alicat 质量流量控制器与现有溅射工具上的机械和电气连接兼容,通常用于升级或更新过程控制。有许多数字和模拟接口,包括RS-232和RS-485。它们可以与诸如DeviceNet和EtherNet/IP之类的协议相结合。 Alicat质量流量控制器包括Gas Select™功能。有了它,您可以轻松地切换气体,而无需进行K系数计算或其他补偿,因为每个质量流量控制器都包含一个气体特性数据库,涵盖整个工作压力和温度范围。结合气体选择和扩大的200:1控制范围,客户大大减少了不同质量流量控制器的数量,以满足反应溅射的需要。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

  • Alicat为OEM用户定制电子压力控制器

    EPC系列提供响应式液体或气体压力控制,量身定做的应用需求 Alicat增加了两个新的OEM电子压力控制器,专门用于大批量的原始设备制造。EPC系列OEM电子压力控制器有单比例阀,EPCD系列OEM电子压力控制器的双阀门,在嵌入式系统中提供定制的压力控制。小型足迹仪器能够快速响应上游的波动,在经济的、易于集成的软件包中提供快速、准确的压力控制。Alicat提供符合客户规格的阀门、阀孔和工艺连接。在OEM气相色谱仪、流式细胞仪的液体分配以及任何需要响应压力控制的地方,EPC系列和EPCD系列OEM电子压力控制器是理想的选择。 EPC系列和EPCD系列对上游压力波动具有100ms的实时控制响应。NIST-可跟踪的精度为0.25%。EPC系列的单比例阀在流动应用中提供稳定的压力控制,例如在气相色谱仪中保持载气通过样品注入点的流动。EPCD系列的特点是有第二个阀门,可以有效地控制密闭空间内的压力,例如控制分配液体上方的压头空间。 Alicat提供NPT、SAE、downport和NeSSi工艺连接。数字通信(RS-232, RS-485, Modbus)和模拟通信(0-5v, 0-10v, 4-20mA)都适用于各种终端客户产品。阀门类型和孔板的选择允许配置到特定的流量要求,以获得更佳的速度和稳定性。 艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。 更多产品信息和资讯,欢迎浏览知识库、行业应用和新闻博客。 如需查看或下载产品说明书,请点击Alicat文件中心。

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