气体质量流量控制器

使用质量流量控制器测量和控制从0.5 SCCM到10000 SLPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.05%，控制范围为0.01-100%（10000:1）。

标准型质量流量控制器

MC–系列质量流量控制器可快速达到设定值，以保持对98+气体的质量流量、体积流量或压力的稳定控制，从满量程的0.01%到100%。

CODA KC系列科里奥利质量流量控制器控制气体或液体流量，即使当流体成分发生变化或未知时，压力高达4000 PSIA（275 barA）。

MCS–系列防腐质量流量控制器控制128+种气体的流量，包括32种腐蚀性气体。

MCQ 系列高压质量流量控制器可在高达 320 PSIA (22 barA) 的工作压力下控制流量。

Basis BC系列质量流量控制器以紧凑、经济的包装控制流量，适用于大体积应用，如空气、氩气、CO2、N2、O2、N2O、氦气或H2。

Whisper ™ MCW–系列低压损质量流量控制器在几乎没有可用系统压力时控制流量，压降低至0.07 PSID（4.8mbar）。

Bio系列质量流量控制器在上游生物处理中预配置为符合ASME-BPE 2016。

使用双向质量流量控制器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SPM的两个方向的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.1%，控制范围为0.01-100%（10000:1量程比）。

MCD系列双向质量流量控制器控制两个方向的质量流量、体积流量和压力。

MCDS系列防腐双向质量流量控制器控制128+种气体（包括32种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量和双向压力。

Whisper™ MCDW系列低压损双向质量流量控制器在几乎没有可用系统压力时控制质量流量、体积流量和两个方向的压力，压损低至0.07 PSID（4.8 mbarD）

真空质量流量控制器经过预配置，可方便地适用于真空工艺。这些仪器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.1%，控制范围为0.01-100%（10000:1）

MCE系列真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，配有焊接的1/4〃VCR接头.

MCES系列防腐蚀真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，流量为128+种气体，包括32种腐蚀性气体。

MCV系列真空质量流量控制器配有用于硬真空应用的气动切断阀。

MCVS系列防腐真空质量流量控制器配备了一个用于硬真空应用的气动切断阀，流量为128+种气体，包括腐蚀性气体。