测量 0.5 SCCM至10000 SLPM 的气体流量,精度±0.5% 读数或±0.05% 满量程,测量范围为0.01-100%(量程比 10000:1)。
BASIS质量流量计 小巧又经济,性价比高的OEM装置,适用介质Ar, CH4, CO2, H2, He, N2, N2O, O2。。
使用便携式质量流量计进行过程校准、验证和确认,电池供电,标配蓝牙或USB。
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