测量/控制范围和量程比常见问题解答
大多数 Alicat 设备具有 0.01–100% 的可测量/可控范围。如果您查看的是较旧的规格表，则可能会列出 10,000:1 的调节比。在这里，我们讨论满量程控制范围、流量测量范围和调节比。
满量程控制范围、流量测量范围和调节比实际上意味着什么？
- 稳态控制范围：保证规格表中列出的精度和重复性适用的流量范围。该术语适用于控制器，并且是阀门和传感器套件的函数。
- 流量测量范围：保证规格表中列出的精度和重复性的流量范围。该术语适用于仪表，并且是传感器封装的函数。
- 调节比：最大可用读数除以最小可用读数。
为什么有些规格表列出了调节比，而另一些则没有？
较旧的 Alicat 规格表包括“调节比”（见图 1）。
图 1. M 系列质量流量计的过时 Alicat 规格表
较新的规格表列出了仪表的“流量测量范围”（见图 2）或控制器的“稳态控制范围”（见图 3）。
图 2. 更新后的 M 系列质量流量计 Alicat 规格表
图 3. 更新后的 MC 系列质量流量控制器 Alicat 规格表
如果您的规格表仍然列出了调节比，则它可能已过时，或者可能尚未更新。
设备如何具有满量程 0.01% 的测量/控制范围（或 10,000:1 调节比）以及低端读数 10 倍的误差？
您可能会注意到，在可测量/可控范围的底部，准确度读数的误差明显大于读数本身。
如果设备在“流量测量范围”或“稳态控制范围”内运行，则读数的准确性和可重复性符合所列出的设备规格。尽管低端误差较高，但该器件仍然提供稳定、可重复的读数，这对某些应用很有用。
我什么时候能够利用整个测量/控制范围？
这取决于您的具体应用要求、精度需求和整体控制/测量系统。
下面的示例讨论了能够使用整个控制/测量范围的应用程序和无法使用整个范围的应用程序。
例子：
应用程序要求您控制从 3.05 SCCM 到 8.90 SLPM 的流量。您正在尝试确定单个 10 SLPM 控制器是否足够。当流量为 8.90 SLPM 时，其精度为 ± 0.0534 SLPM。当流量为 3.05 SCCM 时，其精度为 ± 10 SCCM。
- 如果您需要整个流量范围内特定设定点的精度，则稳态控制范围低端的误差对于 10 SLPM 控制器来说太大，无法用于应用中的低流量控制。因此，您将需要多个质量流量控制器来控制您正在使用的流量范围。
- 如果您需要在一系列实验中进行可重复的流程，您可以利用整个稳态控制范围并使用单个 10 SLPM 控制器。当控制单独的过程参数时，通常会出现这种情况，并且较大的可控范围允许您的设置使用比其他情况下所需的更少的流量设备。
艾里卡特应用工程师可以帮助您确定适合您应用的理想解决方案。请在此处联系我们。
“满量程的 0.01–100%”是指 10,000:1 调节比吗？
是的。当较旧的 Alicat 文档使用短语“10,000:1 调节比”时，它相当于更新文档中的“满量程的 0.01–100%”。
MS 系列等以满量程 1–100% 运行的设备可描述为具有 100:1 的调节比。以满量程 0.5-100% 运行的器件可描述为具有 200:1 的调节比。
我的设备在测量/控制范围内的精度是多少？
除少数例外情况外，测量精度在设备的整个流量范围内并不是恒定的。对于大多数艾里卡特设备，较低流量的精度由设备满量程流量的百分比确定，较高流量的精度由流量读数的百分比确定。
对于某些 Alicat 设备（例如 MS 系列），整个设备范围内的精度是流量读数的百分比加上满量程流量的百分比。
例子：
对于 10 SLPM MC 系列控制器，精度为 读数的 ± 0.6% 或满 量程的 ± 0.1% – 以较大者为准。
这意味着从 1 SCCM 到 1.67 SLPM 的流量范围的精度将为满量程的 ± 0.1%（整个范围为 0.01 SLPM）。对于从 1.67 SLPM 到 10 SLPM 的流量，精度将为读数的 ± 0.6%（取决于流量）。
图 4. MC 控制器在整个稳态控制范围内的精度
在测量/控制范围之外会发生什么？
- 低于测量/控制范围，信噪比太低，无法确保解析、可重复的读数。
- 在测量/控制范围之上，您的设备将提供高达满量程 128% 的读数，但不能保证高于满量程 100% 的精度和重复性规格。
不同的工艺条件是否会影响范围、精度或重复性？
不会。静态和高动态应用的范围、精度和可重复性均保持不变。