- 案例研究及应用
- 串口通信教程
注意:串行命令不区分大小写。为简单起见,我们假设以下列表中流量控制器的单元 ID 为A。<CR>表示 ASCII 回车符(十进制为 13,十六进制为 D)。
如何以轮询方式收集数据
- 更改单元 ID:A@= [所需单元 ID] <CR>
- 轮询数据框: A<CR>
- 查询数据帧格式:A??D*<CR>
- 查询厂家信息:A??M*<CR>
- 查询当前固件版本:AVE<CR>
如何以流式方式收集数据
- 开始传输数据:A@=@<CR>
- 停止流数据:@@= [所需设备 ID] <CR>
- 设置串流间隔:AW91= [毫秒数] <CR>
如何命令新的设定值(仅限控制器)
- 命令新设定值:as [浮点数] <CR>
如何给仪器去皮
- 流量去皮(仅限流量仪表):AV<CR>
- 表压力去皮(仅限压力仪表): AP<CR>
- 用气压计去皮绝对压力(安装时):APC<CR>
- 重置流量积算器(如果已安装):AT<CR>
如何更改气体选择(仅限流量仪表)
- 查询已安装的气体标定列表:A??G*<CR>
- 选择不同的气体:AG [气体编号] <CR>
- 创建新的 COMPOSER 气体混合物(请参阅此处的说明): AGM [Mix Name] [Mix Number] [Gas1 %] [Gas1 Number] [Gas2 %] [Gas2 Number] <CR>
- 删除 COMPOSER 气体混合物:AGD [Mix Number] <CR>
杂项功能
- 将阀门保持在当前位置:AHP<CR>
- 保持阀门关闭:AHC<CR>
- 控制器排气(仅适用于双阀控制器:进气阀关闭,排气阀打开):AE<CR>
- 取消阀门保持:AC<CR>
- 锁定前显示屏:AL<CR>
- 解锁前显示屏:AU<CR>
注意:串行命令不区分大小写。为简单起见,我们假设以下列表中流量控制器的单元 ID 为A。<CR>表示 ASCII 回车符(十进制为 13,十六进制为 D)。
- A<CR>(轮询数据帧)
- AC<CR>(取消阀门保持)
- AE<CR>(双阀控制器排气:进气阀关闭,排气阀打开)
- AG [气体编号] <CR>(选择不同的气体)
- AGD [气体编号] <CR>(删除 COMPOSER 气体混合物)
- AGM [混合名称] [混合编号] [气体 1 %] [气体 1 编号] [气体 2 %] [气体 2 编号] <CR>(创建新的 COMPOSER 气体混合。请参阅此处的说明。)
- AHC<CR>(保持阀门关闭)
- AHP<CR>(将阀门保持在当前位置)
- AL<CR>(锁定前显示屏)
- AP<CR>(表压去皮)
- APC<CR>(使用气压计去皮绝对压力(如果已安装)
- AS [浮点数] <CR>(命令新设定值)
- AT<CR>(重置累加器,如果已安装)
- AU<CR>(解锁前显示屏)
- AV<CR>(去皮流量)
- AVE<CR>(查询当前固件版本)
- A W91= [毫秒数](设置流媒体间隔)
- A??D*<CR>(查询数据帧格式)
- A??G*<CR>(查询已安装气体标定列表)
- A??M*<CR>(查询厂家信息)
- A@= [所需的单元 ID] <CR>(更改单元 ID)
- A@=@<CR>(开始流数据)
- @@= [所需设备 ID] <CR>(停止流数据)
标准串行数据帧
以下是带有可选累加器的 500 SCCM 质量流量控制器的典型数据帧示例:
A +087.6 +025.0 +164.7 +981.6 +985.0 +022741.4 空气 HLD MOV TMF
- A = 设备 ID (AZ)
- +087.6 = 绝对压力
- +025.0 = 温度
- +164.7 = 体积流量
- +981.6 = 质量流量
- +985.0 = 设定值
- +022741.4 = 自上次重置以来的累计流量
- 空气=选定的气体
- HLD = 状态代码(阀门保持)
- MOV = 状态代码(质量流量溢出)
- TMF = 状态代码(流量累加器错过流量超出范围)
状态代码
以下状态代码同时出现在串行数据帧和仪器显示屏上:
- ADC = 模数转换器误差
- EXH = 阀门排气已激活(仅限双阀门控制器)
- HLD = 阀门保持已激活
- LCK = 前显示屏已锁定
- MOV = 质量流量超出设备的可测量范围
- OPL = 已超出超压限制(选项)
- OVR = 流量累加器翻转至零(选项)
- POV = 压力超出设备的可测量范围
- TMF = 流量累加器错过流量超出范围(选项)
- TOV = 温度超出设备的可测量范围
- VOV = 体积流量超出设备的可测量范围