MQ系列高压气体质量流量计

质量流量计&质量流量控制器
MQ系列高压气体质量流量计

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高压应用实时多参数流量测量 操作压力可达 320 PSIA (22bra)。

规格、特性和定制选项

规格

可定制量程 10SCCM -1000SLPM .

标准规格

量程: 10 SCCM至5000 SLPM(10,000 SLPM for H2)
量程比: 0.1% – 100% 满量程
精度: ±0.6%读数或± 0.1% 满量程,以两者中较大者为准
重复性: +0.1% 满量程
响应时间: < 10 ms
工作温度: –10°C to +60°C
工作压力: 320 PSIA (22 barA)

质量流量计操作手册

设备和配件

特点

同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
可调整的工程单位和STP/NTP条件 .
98+内置气体自由切换，并具有NIST 可追溯精度。
可自定义和储存20 种气体混合物 (多达5种气体)。
背光显示器并使用集成触摸板控制配置。
标配流量累加器以及警报器。

探测装置特征

配件

FlowVision software( 下载 )

电源、电缆和配件（单独出售）

组成和性能选项

通讯模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
过程连接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO
显示屏 : 背光单色屏或TFT彩屏;一体化集成或面板单独安装;无
密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone
校准: 自定义校准点

进一步定制

需要支持吗?

我们的应用工程师专家团队可以提供额外的信息,讨论您的应用程序,或者回答您可能有的任何问题。

性能

可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-10 sccm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：50:1
校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：5-10ms
无需预热时间

工作条件

兼容气体：98（MQ系列）或130（MQS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
最大内部压力（静态）：305 psig（320 psia）
最大差压（进口至出口）：100 psid
耐受压力：400 psig（415 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包装清单

MQ系列高压气体质量流量计（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

查找配件

型号变体

耐腐蚀性系列（MQS系列，见下文）
便携式系列（MBQ系列）

另有：

标准系列，最高160 psia（M系列）
低压损系列，最多60 psia（MW系列）

腐蚀性气体（MQS系列）

MQ系列高压气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将密封圈材料升级为FFKM。

结构选项

通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
工艺连接（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
密封圈材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

流量累加器
自定义校准

查看所有选择项目

艾里卡特MQ系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。

MQ-10SCCM-D
MQ-20SCCM-D
MQ-50SCCM-D
MQ-100SCCM-D
MQ-200SCCM-D
MQ-500SCCM-D
MQ-1SLPM-D
MQ-2SLPM-D
MQ-5SLPM-D
MQ-10SLPM-D
MQ-20SLPM-D
MQ-50SLPM-D
MQ-100SLPM-D
MQ-250SLPM-D
MQ-500SLPM-D
MQ-1000SLPM-D
MQ-1500SLPM-D
MQ-2000SLPM-D
MQ-3000SLPM-D
MQ-5000SLPM-D

艾里卡特MQS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。

MQS-10SCCM-D
MQS-20SCCM-D
MQS-50SCCM-D
MQS-100SCCM-D
MQS-200SCCM-D
MQS-500SCCM-D
MQS-1SLPM-D
MQS-2SLPM-D
MQS-5SLPM-D
MQS-10SLPM-D
MQS-20SLPM-D
MQS-50SLPM-D
MQS-100SLPM-D
MQS-250SLPM-D
MQS-500SLPM-D
MQS-1000SLPM-D
MQS-1500SLPM-D
MQS-2000SLPM-D
MQS-3000SLPM-D
MQS-5000SLPM-D

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