MQ系列高压气体质量流量计
高压应用实时多参数流量测量 操作压力可达 320 PSIA (22bra)。
规格、特性和定制选项
规格
可定制量程 10SCCM -12,00SLPM .
标准规格
- 量程: 10 SCCM至12,000 SLPM
- 量程比: 0.1% – 100% 满量程
- 精度: ±0.6%读数 或± 0.1% 满量程,以两者中较大者为准
- 重复性: +0.1% 满量程
- 响应时间: < 10 ms
- 工作温度: –10°C to +60°C
- 工作压力: 320 PSIA (22 barA)
设备和配件
特点
配件
- FlowVision software( 下载 )
组成和性能选项
- 通讯模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
- 过程连接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO
- 显示屏 : 背光单色屏或TFT彩屏;一体化集成或面板单独安装;无
- 密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone
- 校准: 自定义校准点
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