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MQ系列高压气体质量流量计

高压应用实时多参数流量测量 操作压力可达 320 PSIA (22bra)。

规格、特性和定制选项

规格

可定制量程 10SCCM -1000SLPM .

标准规格
  • 量程: 10 SCCM至5000 SLPM(10,000 SLPM for H2)
  • 量程比: 0.1% – 100% 满量程
  • 精度: ±0.6%读数 或± 0.1% 满量程,以两者中较大者为准
  • 重复性:  +0.1% 满量程
  • 响应时间: < 10 ms
  • 工作温度: –10°C to +60°C
  • 工作压力: 320 PSIA (22 barA)
设备和配件

特点

配件

组成和性能选项
  • 通讯模式: Analog, RS–232, RS–485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus, PROFINET
  • 过程连接 : NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, VCO
  • 显示屏 : 背光单色屏或TFT彩屏;一体化集成或面板单独安装;无
  • 密封圈: FKM, FFKM, EPDM, Silicone
  • 校准: 自定义校准点

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需要支持吗?

我们的应用工程师专家团队可以提供额外的信息,讨论您的应用程序,或者回答您可能有的任何问题。

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-10 sccm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
  • 可调比:50:1
  • 校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:5-10ms
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MQ系列)或130(MQS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):305 psig(320 psia)
  • 最大差压(进口至出口):100 psid
  • 耐受压力:400 psig(415 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

包装清单

型号变体

  • 耐腐蚀性系列(MQS系列,见下文)
  • 便携式系列(MBQ系列

另有:

  • 标准系列,最高160 psia(M系列
  • 低压损系列,最多60 psia(MW系列

腐蚀性气体(MQS系列)

MQ系列高压气体质量流量计中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MS系列)可供选择。该配置中,我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质,将密封圈材料升级为FFKM。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 密封圈材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

艾里卡特MQ系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体

MQ-10SCCM-D
MQ-20SCCM-D
MQ-50SCCM-D
MQ-100SCCM-D
MQ-200SCCM-D
MQ-500SCCM-D
MQ-1SLPM-D
MQ-2SLPM-D
MQ-5SLPM-D
MQ-10SLPM-D
MQ-20SLPM-D
MQ-50SLPM-D
MQ-100SLPM-D
MQ-250SLPM-D
MQ-500SLPM-D
MQ-1000SLPM-D
MQ-1500SLPM-D
MQ-2000SLPM-D
MQ-3000SLPM-D
MQ-5000SLPM-D

艾里卡特MQS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体

MQS-10SCCM-D
MQS-20SCCM-D
MQS-50SCCM-D
MQS-100SCCM-D
MQS-200SCCM-D
MQS-500SCCM-D
MQS-1SLPM-D
MQS-2SLPM-D
MQS-5SLPM-D
MQS-10SLPM-D
MQS-20SLPM-D
MQS-50SLPM-D
MQS-100SLPM-D
MQS-250SLPM-D
MQS-500SLPM-D
MQS-1000SLPM-D
MQS-1500SLPM-D
MQS-2000SLPM-D
MQS-3000SLPM-D
MQS-5000SLPM-D

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