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质量流量计&质量流量控制器

Overview

质量流量控制器和质量流量计使过程控制和校准过程更加高效。Alicat提供了多种方法来定制您的气体流量计或控制器，以用于低压，高压或腐蚀性应用。标准功能包括实时读数，快速的阀门响应和多种气体校准。大多数型号均可定制，流速高达5000 SLPM或低至2.5 sµlm / 0.0025 SCCM。

气体质量流量控制器

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使用质量流量控制器测量和控制从0.5 SCCM到10000 SLPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.05%，控制范围为0.01-100%（10000:1）。

标准型质量流量控制器

MC–系列质量流量控制器可快速达到设定值，以保持对98+气体的质量流量、体积流量或压力的稳定控制，从满量程的0.01%到100%。

CODA KC系列科里奥利质量流量控制器控制气体或液体流量，即使当流体成分发生变化或未知时，压力高达4000 PSIA（275 barA）。

MCS–系列防腐质量流量控制器控制128+种气体的流量，包括32种腐蚀性气体。

MCQ 系列高压质量流量控制器可在高达 320 PSIA (22 barA) 的工作压力下控制流量。

Basis BC系列质量流量控制器以紧凑、经济的包装控制流量，适用于大体积应用，如空气、氩气、CO2、N2、O2、N2O、氦气或H2。

Whisper ™ MCW–系列低压损质量流量控制器在几乎没有可用系统压力时控制流量，压降低至0.07 PSID（4.8mbar）。

Bio系列质量流量控制器在上游生物处理中预配置为符合ASME-BPE 2016。

IS-Max 质量流量控制器经过本质安全认证，可用于CID1和CI 0区等爆炸性环境。

使用双向质量流量控制器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SPM的两个方向的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.1%，控制范围为0.01-100%（10000:1量程比）。

双向质量流量控制器

MCD系列双向质量流量控制器控制两个方向的质量流量、体积流量和压力。

MCDS系列防腐双向质量流量控制器控制128+种气体（包括32种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量和双向压力。

Whisper™ MCDW系列低压损双向质量流量控制器在几乎没有可用系统压力时控制质量流量、体积流量和两个方向的压力，压损低至0.07 PSID（4.8 mbarD）

真空质量流量控制器经过预配置，可方便地适用于真空工艺。这些仪器测量和控制从0.5 SCCM到5000 SPM的气体流量，精度为读数的±0.5%或满量程的±0.1%，控制范围为0.01-100%（10000:1）

真空质量流量控制器

MCE系列真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，配有焊接的1/4〃VCR接头.

MCES系列防腐蚀真空质量流量控制器的设计符合SEMI标准，流量为128+种气体，包括32种腐蚀性气体。

MCV系列真空质量流量控制器配有用于硬真空应用的气动切断阀。

MCVS系列防腐真空质量流量控制器配备了一个用于硬真空应用的气动切断阀，流量为128+种气体，包括腐蚀性气体。

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气体质量流量计

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测量 0.5 SCCM至10000 SLPM 的气体流量，精度±0.5% 读数或±0.05% 满量程，测量范围为0.01-100%（量程比 10000:1）。

质量流量计

M系列质量流量计可同时测量0.01%至100%的98+气体的质量流量、体积流量、压力和温度。

CODA KM系列科里奥利质量流量计测量气体或液体流量，即使当流体成分发生变化或压力高达4000 PSIA（275 bar）时也适用。

MS系列防腐质量流量计测量128+种气体的流量，包括32种腐蚀性气体。

MQ 系列高压质量流量计可测量高达 320 PSIA (22 bar) 的操作压力下的流量。

Whisper™ MW系列低压降质量流量计在几乎没有可用系统压力时测量流量，压损低至0.07 PSID（4.8mbar）。

BASIS质量流量计 小巧又经济，性价比高的OEM装置，适用介质Ar, CH4, CO2, H2, He, N2, N2O, O2。。

Bio系列质量流量计配置符合上游生物加工中的 ASME-BPE 2016 标准。

使用便携式质量流量计进行过程校准、验证和确认，电池供电，标配蓝牙或USB。

便携式质量流量计

MB系列便携式质量流量计由电池供电，用于进行流量校准、验证和验证。

MBS系列便携式耐腐蚀质量流量计可测量128种以上气体的流量，包括32种腐蚀性气体。

MBQ系列便携式高压质量流量计测量工作压力高达320 PSIA（22 bar）的流量，是校准高压过程的理想选择。

Whisper™ MWB系列便携式低压损质量流量计测量压降低至0.07 PSID（4.8mbar）的流量，以便在微小系统影响的情况下进行持续校准。

PCU系列便携式校准仪NIST可溯源二级校准或流量验证标准，量程比为0.00001-100%。

FP-25大气采样仪监测PM10和PM2.5颗粒物采样器，并与所有PM空气监测器兼容大气监测器。

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CODA 科里奥利质量流量计/控制器

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使用小流量CODA科里奥利质量流量计和控制器测量和控制精确质量流量，其精度±0.6%。

标准科里奥利流量计

CODA质量流量计可精确测量气体或液体流量，即使流体成分变化或未知，压力高达4000 PSIA（275 bar），精度为读数的±0.6%。

标准科里奥利流量控制器

CODA质量流量控制器即使在流体成分发生变化或未知的情况下也能控制气体或液体流量，压力高达4000 PSIA（275 barA），读数精度为±0.6%。

科里奥利定量加料系统-带泵

使用CODA 科里奥利质量流量泵系统，无需采购泵和仪表或为泵开发控制系统。该完全集成的系统与满量程 1 kg/h 至 100 kg/h 的多种液体兼容，精确度为读数的 ±0.2%。

科里奥利定量加料系统-不带泵

CODA 质量流量泵控制器可轻松集成到您现有的液体泵设置中，并实现完全自动化，无需单独的 PID 控制器。精度高达读数的 ±0.2%。

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使用低流量CODA科里奥利质量流量计和控制器，高精度测量真实质量流量至读数的±0.2%。

高精度科里奥利流量计

KM系列质量流量计测量气体或液体流量，即使流体成分变化或未知，压力高达4000 PSIA（275 bar），读数精度高达±0.2% 。

高精度质量流量控制器

KC系列质量流量控制器控制气体或液体流量，即使当流体成分发生变化或未知时，压力高达4000 PSIA（275 barA），读数精度为±0.2%。

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液体流量控制器

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液体流量控制器
支持

液体流量控制器

Alicat 液体流量控制器采用科里奥利或层流差压技术，可准确控制各种应用中的液体流量。科里奥利流量控制器可以精确控制高达 300 kg/h 的液体流量，包括对腐蚀性液体和未知成分液体的精确控制。而对于水和其他非腐蚀性液体，可选用层流液体流量控制器实时控制过程流量和压力。

CODA KC系列科里奥利质量流量控制器即使在流体成分变化或未知的情况下也能提供高精度的液体流量控制。

LC系列液体流量控制器快速达到设定值，并保持液体体积流量或压力的稳定控制，同时测量实时流量、压力和温度读数。

科里奥利泵系统

使用CODA 科里奥利质量流量泵系统，无需采购泵和仪表或为泵开发控制系统。该完全集成的系统与满量程 1 kg/h 至 100 kg/h 的多种液体兼容，精度为读数的 ±0.2%。

科里奥利泵控制器

CODA 质量流量泵控制器可轻松集成到您现有的液体泵设置中，并实现完全自动化，无需单独的 PID 控制器。精度高达读数的 ±0.2%。

Alicat 液体流量控制器采用科里奥利或层流差压技术，可准确控制各种应用中的液体流量。科里奥利流量控制器可以精确控制高达100 kg/h的液体流量，包括对腐蚀性液体和未知成分的精确控制。而对于水和其他非腐蚀性液体，可选用Alicat 层流液体流量控制器实时控制过程流量和压力。

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液体流量计

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使用液体流量计测量高达100 kg/hr的液体流量，精度高达读数的±0.2%或满量程的±0.05%。

标准液体流量计

CODA KM系列科里奥利质量流量计即使在流体成分变化或未知的情况下也能提供高精度的液体流量测量。

L系列液体流量计同时实时测量体积流量、液体压力和液体温度。

使用便携式液体流量计测量高达10 LPM的液体流量，精度高达满量程的±2%。

便携式液体流量计

LB系列便携式液体流量计可在任何需要的地方测量液体体积流量，使其成为进行过程校准、验证和验证的理想选择。

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